Оборудование / Измерительное оборудование / Контактные измерительные приборы / Стилусный профилометр ScriboN

Стилусный профилометр ScriboN

Прибор оснащен такими ключевыми технологиями, как датчик смещения с субангстремным разрешением, улавливание сигнала со сверхнизким шумом, сверхточное управление перемещением, алгоритм калибровки, имеет хорошие рабочие характеристики.
Стилусный профилометр широко используются в университетах, исследовательских лабораториях и институтах, полупроводниках и сложных полупроводниках, LED повышенной яркости, солнечной энергетике, микроэлектромеханике MEMS, сенсорных экранах, автомобилях, медицинском оборудовании.
Стилусный профилометр использует измерение топографии контактной поверхности, что является новой разработкой традиционного измерения топографии поверхности. Минимальная контактная сила, отсутствие особых требований к отражающим характеристикам измерительной поверхности, типу материала, твердости материала. Имеет широкий диапазон адаптации образцов, высокую воспроизводимость данных, стабильность измерений, удобство и эффективность. Является наиболее широко используемым методом измерения микро-нанообразцов при измерении микроповерхностей.

Модель продукции	PC20
Технология измерения	Технология измерения контура поверхности с помощью зонда
Наблюдение образца	Оптическая навигационная камера: цветная камера высокого разрешения с разрешением 5 млн. пикселей,- FoV, 2200*1700 мкм
Датчик зонда	Ультранизкая инерция, датчик LVDC
Измерение силы	1-50 мг регулируемо
Выбор зонда	Радиус кривизны зонда 2 мкм, внутренний угол 60°
Диапазон перемещения платформы X/Y	Электрический X/Y (150 мм*150 мм) (возможно ручное выравнивание)
Образец R-θ
предметный столик	Электрический, непрерывное вращение на 360°
Длина одного сканирования	55 мм
Максимальная толщина образца	50 мм
Максимальный размер кремниевой пластины на предметном столике	150 мм (когда 6), 200 мм (когда 8)
Повторяемость высоты шага	5 А, когда диапазон 330 мкм / 10 А, когда диапазон 1 мм (измерение высоты шага 1 мкм, 1b)
Диапазон датчика	330 мкм или 1 мм
Определение вертикали	Разрешение <0,01 А (при положении передачи на 13мкм)
Скорость сканирования	2 мкм/с-10 мм/с
Габариты (ДхШхВ) мм	640626534
Вес	40 кг
Источник питания прибора	100-240 ВПТ, 50/60 Гц, 200 Вт
Эксплуатационная среда	Относительная влажность: влажность (без конденсации) 30-40% ОВ температура: 16-25°С (изменение температуры менее 2°С в час) Колебания земной поверхности: 6.35 мкм/с (1-100 Гц)
	Звуковой шум: ≤80 дБ
	Ламинарный поток воздуха: ≤0.508 м/с (нисходящий поток)

*1 Два выбора диапазона датчика 330 мкм и 1 мм.

Типиченое применение

Полупроводники

Высота шага нанесения пленки
Высота шага резистора (мягкий пленочный материал)
Измерение скорости травления
Химико-механическая полировка (коррозия, вмятины, изгибы)

Крупногабаритные платы

Печатная плата (выступ, высота шага)
Оконное покрытие
Чиповый шаблон
Окрашивание чипового патрона
Полировочная плита

Стеклянная подложка и дисплей

Измерение высоты и стадии шага для исследования и разработки ЖК-дисплеев
Измерение толщины пленки
сенсорной панели
Измерение пленки с солнечным покрытием

Пленки для гибкой электроники

Органический фотодетектор
Органические пленки, напечатанные на пленке или стекле
Медные следы сенсорного экрана