| Модель прибора | CM100 | CM200 | CM300 | |
| Дальность шага | X | 100мм | 200мм | 300мм |
| Y | 100мм | 200мм | 300мм | |
| Z | 100мм | 100мм | 100мм | |
| Габариты | 520×380×600мм | 720×580×1500мм | 1000×900×1500мм | |
| Вес прибора | 50 кг | 400 кг | 500 кг | |
| Принцип измерения | Конфокальная оптическая система | |||
| Объектив микроскопа | 10×, 20×, 50×, 100× | |||
| Диапазон обзора | 120×120 мкм~1.2×1.2 мм | |||
| Измерение высоты | Повторяемость (1σ) | 12нм | ||
| Точность | ± (0.2+L/100) мкм | |||
| Разрешение экрна | 0.5нм | |||
| Измерение ширины | Повторяемость (1σ) | 40нм | ||
| Точность | ± 2% | |||
| Разрешение экрна | 1 нм | |||
| XY перемещающаяся платформа | Загрузка | 10 кг | ||
| Способ управления | Электрический | |||
| Диапазон сканирования оси Z0 | 10 мм | |||
| Вышка объектива | 5 электрических отверстий | |||
| Источник света | Белый свет LED | |||
| Рабочая среда | Источник питания | 100-240 ВПТ, 50/60Гц, 2A мощность 300Вт | ||
| Рабочая температура | Температура 15°С~30°С, градиент температуры < 2°С/60мин. | |||
| Относительна влажность | 5%~95%ОВ, нет конденсации влаги | |||
| Вибрация окружающей среды | VC-C или лучше | |||
| Прочее | Нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа | |||
*1 Используйте объектив с увеличением 50X для измерения образца со стандартным уступом 4,7 мкм в лабораторных условиях.
Характеристики и особенности
Высокая точность и высокая повторяемость
• Измерительная система, основанная на конфокальной оптической системе с вращающимся диском в сочетании с высокостабильной структурной конструкцией и превосходным алгоритмом трехмерной реконструкции, обеспечивает высокую точность измерений прибора.
• Уникальная конструкция изоляции от вибраций может снизить вибрационный шум основания.
• Прибор стабилен и надежен в большинстве сред и имеет хорошую повторяемость измерений.
Комплексное программное обеспечение для измерения и анализа
• Измерение и анализ выполняются на одном и том же интерфейсе без переключения, а данные измерений автоматически подсчитываются, реализуя функцию быстрого измерения партии.
• Благодаря окну визуализации пользователи могут наблюдать за процессом сканирования в режиме реального времени.
• В сочетании с функцией автоматического измерения пользовательского шаблона анализа процесс измерения и анализа в нескольких областях может выполняться автоматически.
• Предоставление пяти функциональных модулей геометрического анализа, анализа шероховатости, структурного анализа, частотного анализа и функционального анализа.
• Анализ в один клик, анализ нескольких файлов, свободно комбинируемые элементы анализа сохраняются в виде шаблона анализов, анализ партии в один клик, предоставление анализа данных и функций статической диаграммы и таблицы.
• Возможность измерения более 300 видов 2D и 3D параметров в соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT и другими стандартами.
Высокоточный рычаг управления
• Рычаг управления, интегрированный с функциями регулировки смещения в трех направлениях X, Y
• и Z, позволяет быстро выполнить предварительные измерения, такие как перемещение предметного столика и фокусировка в направлении Z.
Двойные меры защиты от столкновений
• В дополнение к программному обеспечению ZSTOP, устанавливающему нижний предел смещения в направлении Z для защиты от столкновений, на оси Z предусмотрен механический и электронный датчики. Когда линза касается поверхности образца, прибор автоматически входит в режим состояние аварийной остановки для максимальной защиты прибора и снижения операционного риска.
Высокая точность и высокая повторяемость
• Измерительная система, основанная на конфокальной оптической системе с вращающимся диском в сочетании с высокостабильной структурной конструкцией и превосходным алгоритмом трехмерной реконструкции, обеспечивает высокую точность измерений прибора.
• Уникальная конструкция изоляции от вибраций может снизить вибрационный шум основания.
• Прибор стабилен и надежен в большинстве сред и имеет хорошую повторяемость измерений.
Комплексное программное обеспечение для измерения и анализа
• Измерение и анализ выполняются на одном и том же интерфейсе без переключения, а данные измерений автоматически подсчитываются, реализуя функцию быстрого измерения партии.
• Благодаря окну визуализации пользователи могут наблюдать за процессом сканирования в режиме реального времени.
• В сочетании с функцией автоматического измерения пользовательского шаблона анализа процесс измерения и анализа в нескольких областях может выполняться автоматически.
• Предоставление пяти функциональных модулей геометрического анализа, анализа шероховатости, структурного анализа, частотного анализа и функционального анализа.
• Анализ в один клик, анализ нескольких файлов, свободно комбинируемые элементы анализа сохраняются в виде шаблона анализов, анализ партии в один клик, предоставление анализа данных и функций статической диаграммы и таблицы.
• Возможность измерения более 300 видов 2D и 3D параметров в соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT и другими стандартами.
Высокоточный рычаг управления
• Рычаг управления, интегрированный с функциями регулировки смещения в трех направлениях X, Y
• и Z, позволяет быстро выполнить предварительные измерения, такие как перемещение предметного столика и фокусировка в направлении Z.
Двойные меры защиты от столкновений
• В дополнение к программному обеспечению ZSTOP, устанавливающему нижний предел смещения в направлении Z для защиты от столкновений, на оси Z предусмотрен механический и электронный датчики. Когда линза касается поверхности образца, прибор автоматически входит в режим состояние аварийной остановки для максимальной защиты прибора и снижения операционного риска.