Введение в оборудование для чистого производства
Учебный стенд предназначен для модерирования различных вакуумных технологических установок.
Базовая комплектация состоит из остова, вакуумного насоса, вакуумной камеры с комплектом сенсоров,
системы управления, набором инструментов для сборки и обслуживания. Возможна модернизация комплекса
до состояния установок напыления или плазмы низкого давления.