Оборудование / Измерительное оборудование / Оптические измерительные приборы / Оптический профилометр IntoM OP300

Оптический профилометр IntoM OP300

Специальные функции в области полупроводников
• Одновременно поддерживает измерение кремниевых полупроводниковых пластин трех размеров (6, 8 и 12 дюймов) и выполняет автоматическое переключение трех видов вакуумных присосок для адаптации к кремниевым полупроводниковым пластинам разных размеров в один клик.
• Обладает функцией автоматического измерения шероховатости утонченного листа после процесса шлифования и • может в один клик измерить шероховатость десятков небольших областе й для получения среднего значения.
• Обладает функцией измерения контурных данных глубины и ширины канала после его лазерного прорезания в процессе скайбирования и может в один клик выполнить измерение и анализ данных поверхности и нескольких секционных линий поверхности, связанных с глубиной и шириной канала.
• Благодаря измерению высоты уступа покрытия во время изготовления кремниевых полупроводниковых пластин с диапазоном измерения от 1 нм до 1 мм реализует высокоточные измерения.

Модель прибора		IntoM OP300
Габариты прибора		(1000X900X1500) мм
Вес системного блока прибора		< 500 кг
Источник света		Белый свет LED
Система изображения		1024X1024
Интерференционный объектив		10X,(2.5X,5X, 20X,50X,100X)
Оптический ZOOM		0.5X, (0.75X , 1X , 0.375X )
Стандартное поле обзора		0.98X0.98мм
Вышка объектива		5 электрических отверстий
XY перемещающаяся платформа	Размер	450X450мм
	Диапазон перемещения	300X300мм
	Нагрузка	10кг
	Способ управления	Электрический
Настройка уровня		±6°,электрический
Фокус оси Z	Ход	100мм
	Способ управления	Электрический
Диапазон сканирования направления Z		10мм
Разрешение направления Z		0.1нм
Измеримый коэффициент отражения образца		0.05%-100%
Повторяемость RMS шероховатости		0.005нм
Измерение шага	Точность	0.3%
	Повторяемость	0.08% 1σ

Экологические требования
1	Рабочая среда: нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа.	4	Вибрация окружающей среды: VC-C или лучше
2	Рабочая температура: 15°С~30°С, температурный градиент 2°С/60 мин	5	Источник воздуха с виброизоляцией: источник чистого воздуха, 0.8 Mpa регулирование давления источника чистого воздуха, обезжиривание, осушение, диаметр воздушной трубы 6 мм (опционально)
3	Относительная влажность: 5–95 %RH, без конденсации влаги.	6	Источник питания: 330 Вт

Прочие требования
1	Источник света не следует держать в ярком режиме в течение длительного времени.	2	Не шатайте прибор руками во время измерения