Специальные функции в области полупроводников
• Одновременно поддерживает измерение кремниевых полупроводниковых пластин трех размеров
(6, 8 и 12 дюймов) и выполняет автоматическое переключение трех видов вакуумных присосок для
адаптации к кремниевым полупроводниковым пластинам разных размеров в один клик.
• Обладает функцией автоматического измерения шероховатости утонченного листа после процесса
шлифования и
• может в один клик измерить шероховатость десятков небольших областей для получения среднего
значения.
• Обладает функцией измерения контурных данных глубины и ширины канала после его лазерного
прорезания в процессе скайбирования и может в один клик выполнить измерение и анализ данных
поверхности и нескольких секционных линий поверхности, связанных с глубиной и шириной канала.
• Благодаря измерению высоты уступа покрытия во время изготовления кремниевых
полупроводниковых пластин с диапазоном измерения от 1 нм до 1 мм реализует высокоточные измерения.
Модель прибора
IntoM OP300
Габариты прибора
(1000X900X1500) мм
Вес системного блока прибора
< 500 кг
Источник света
Белый свет LED
Система изображения
1024X1024
Интерференционный объектив
10X,(2.5X,5X, 20X,50X,100X)
Оптический ZOOM
0.5X, (0.75X , 1X , 0.375X )
Стандартное поле обзора
0.98X0.98мм
Вышка объектива
5 электрических отверстий
XY перемещающаяся платформа
Размер
450X450мм
Диапазон перемещения
300X300мм
Нагрузка
10кг
Способ управления
Электрический
Настройка уровня
±6°,электрический
Фокус оси Z
Ход
100мм
Способ управления
Электрический
Диапазон сканирования направления Z
10мм
Разрешение направления Z
0.1нм
Измеримый коэффициент отражения образца
0.05%-100%
Повторяемость RMS шероховатости
0.005нм
Измерение шага
Точность
0.3%
Повторяемость
0.08% 1σ
Экологические требования
1
Рабочая среда: нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа.
4
Вибрация окружающей среды: VC-C или лучше
2
Рабочая температура: 15°С~30°С, температурный градиент 2°С/60 мин
5
Источник воздуха с виброизоляцией: источник чистого воздуха, 0.8 Mpa регулирование давления источника чистого воздуха, обезжиривание, осушение, диаметр воздушной трубы 6 мм (опционально)
3
Относительная влажность: 5–95 %RH, без конденсации влаги.
6
Источник питания: 330 Вт
Прочие требования
1
Источник света не следует держать в ярком режиме
в течение длительного времени.
.jpg)
.png)
.png)
 (1).png)
 (1).png)