| Модель продукции | VM4 | VM5 | VM6 | |
| Дальность хода | X (м) | 400 | 500 | 600 |
| Y (м) | 300 | 600 | 800 | |
| Z (м) | 200 | 200 | 200 | |
| Модель конструкции | Колонного типа | Перемещающийся мост | Перемещающийся мост | |
| Каркас оборудования | Мрамор | Мрамор | Мрамор | |
| Дисплей | 24 дюйма LCD дисплей (1920X1080) | |||
| Датчик изображения | 500 Вт цветная промышленная видеокамера высокого разрешения | |||
| Разрешение растрового изображения | 0,1 мкм | |||
| Направляющая движения | Высокоточная линейная направляющая | |||
| Электрический зум-объектив с высоким разрешением |
Объектив | 13.3X электрический непрерывный зум | ||
| Масштаб увеличения | Оптическое увеличение: 0.6~8.0X, увеличение изображения : 17~232X | |||
| Датчик изображения | Цветная промышленная видеокамера высокого разрешения | |||
| Размер поля обзора | 1 мм X 1 мм~12 мм X 12 мм | |||
| Диапазон измерения | 360 мм X 310 мм | 410 мм X 600 мм | 610 мм X 800 мм | |
| XY Точность измерения | (1.8+L/200) мкм | (2.0+L/200) мкм | (2.2+L/200) мкм | |
| Точность оси Z | (2.8+L/200) мм | |||
| Проходящий свет | Центробежное проходящее освещение (зеленый) | |||
| Поверхностный свет | 6 колец 8 секций распределенное освещение (белый свет) | |||
| Коаксиальный свет | LED - освещение | |||
| Бителецентрическая оптическая линза с широким полем обзора |
Спецификация объектива | 4100 мм бителецентрическая линза | ||
| Размер поля обзора | 4100 мм бителецентрическая линза | |||
| Диапазон измерения | 440ммX400мм (4 угла R50) | 480ммX600мм (4 угла R50) | 580ммX800мм (4 угла R50) | |
| Точность поля обзора | ±4 мкм | |||
| Точность измерения соединения |
(4+L/200) мкм | (5+L/200) мкм | (6+L/200) мкм | |
| Поверхностный свет | Четырехсекционное освещение (белый свет) , круговое направленное освещение (зеленый цвет) |
|||
| Проходящий свет | Центробежное проходящее освещение (зеленый цвет) | |||
Максимальная скорость перемещения |
XY (м/с) | 500 | ||
| Z (м/с) | 100 | |||
| Габариты (мм) | 530X503X730 | 850X1240X1600 | 900X1340X1600 | |
| Вес оборудования (кг) | 80 | 650 | 950 | |
| Нагрузка (кг) | 25 | 50 | 50 | |
| Мощность источника питания | 2000 Вт | 2500 Вт | 2500 Вт | |
| Управление перемещением | Система сервоуправления | |||
| Измерительное ПО | VisionX Pro | |||
| Рабочее напряжение | 200-240 ВПТ, 50/60 Гц | |||
| Рабочая среда | Температура 20°С±2°С, влажность 20-80%, вибрация <0.002 g, менее 15 Гц | |||
*1 Масштаб увеличения изображения – это приблизительное значение, а конкретное значение зависит от разрешения и размера
дисплея.
*2 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, грузоподъёмность предметного столика составляет менее 5 кг, где L – величина перемещения (мм) предметного столика.
*3 При температуре окружающей среды 20°С±1°С выполняется проверка по стандарту компании °С.
*4 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, грузоподъёмность предметного столика составляет менее 5 кг.
*2 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, грузоподъёмность предметного столика составляет менее 5 кг, где L – величина перемещения (мм) предметного столика.
*3 При температуре окружающей среды 20°С±1°С выполняется проверка по стандарту компании °С.
*4 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, грузоподъёмность предметного столика составляет менее 5 кг.