Модель продукции | PS561 | ||
Параметры контура | Диапазон измерения | Ось X | 0~100 мм |
Ось Z | 0~450 мм | ||
Ось Z1 | ±25 мм | ||
Разрешение | Минимальное разрешение 0.001 мкм | ||
Точность измерения | Ось X | ≤± (0.6+0.015 L) мкм (L, мм) | |
Линейная точность Z1 |
≤± (0.6+0.05 H) мкм (H, мм) | ||
Погрешность кривизны (диаметр) |
≤± (1+R/15) мкм (R, мм) | ||
Угловая погрешность |
≤±1′ | ||
Скорость перемещения | Ось X | 0~20 мм/с | |
Ось Z | 0~20 мм/с | ||
Скорость сканирования (ось сканирования) | 0.05~5 мм/с | ||
Способность преодолевать подъем | Уклон на подъеме 77°, уклон на спуске 88° | ||
Прямолинейность (ось сканирования) | ≤1 мкм/200 мм | ||
Измерение силы | 10~150 мН регулируемое | ||
Параметры шероховатости | Диапазон измерения Ra | Ось Z0 | ±400 мкм или ± 1000 мкм |
Тип датчика | Безрельсовый | ||
Применимый диапазон измерения |
Ra 0.1 мкм~Ra 64 мкм | ||
Измерение силы | Около 1 мН | ||
Разрешение | Ось Z0 | Минимальное разрешение 0.001 мкм | |
Точность измерения | Погрешность индикации |
≤± (5nm+2.5%A) мкм (A, измерение номинального значения Ra, мкм) |
|
Повторяемость | ≤1 нм | ||
Скорость сканирования | 0.05~0.5мм/с | ||
Остаточный шум / остаточный контур |
≤0.005 мкм | ||
Параметры измерения | Шероховатость R: Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax, Rpm,tp, Htp, Pc, Rda, Ry, Sm, S, Rpc, RzJ; |
||
Шероховатость середины: Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo; | |||
Параметры контура P: Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax; | |||
Параметры Motif: R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte | |||
Параметры волнистости контура W: Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc, Wmr,Wpc,Wc; | |||
Волновой фильтр | Волновой фильтр Гаусса, волновой фильтр 2RC, волновой фильтр нулевой фазы | ||
Длина отбора | 0.008, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8.0, 25 мм (опционально) | ||
Длина оценки | Максимальное кратное число автоматического расчёта длины отбора в соответствии с измеренной длинной | ||
Измерение толщины пленки |
Диапазон измерения | В пределах 60 мкм | |
Точность измерения | 2%H (H, измерение общей высоты, мкм) | ||
Габариты оборудования (ДXШXВ) | 800×450×1100 (мм) | ||
Вес оборудования | Около 220 кг |
*1 Данный индекс точности является стандартом измерения стандартного шага.
*2 Данный индекс точности является стандартом точности измерительного блока.
*3 Данный индекс точности является стандартом испытания стандартной сферы и измерения дуги величиной более 90 градусов.
*4 Данный индекс точности является стандартом измерения углов многогранника.
*5 Данный индекс точности является стандартом измерения плоского кристалла.
*6 Два выбора диапазона датчика Z0: ±400 мкм и ±1000мкм. При выборе диапазона датчика Z0 ±400 мкм доступна дополнительная передача измерения шероховатости: ±50 мкм/±100 мкм/±400 мкм. При выборе диапазона датчика Z0 ±1000 мкм доступна дополнительная передача измерения шероховатости: ±50 мкм/±100 мкм/±500 мкм/± 1000 мкм.
*7 Данная точность шероховатости является стандартом измерения шероховатости поверхности сравнительных образцов в условиях калибровки сферы.
*8 Данный индекс повторяемости является стандартом тестирования с использованием образца шероховатости прямоугольной волны 0,1–0,2 мкм и стандартного ступенчатого блока.
*2 Данный индекс точности является стандартом точности измерительного блока.
*3 Данный индекс точности является стандартом испытания стандартной сферы и измерения дуги величиной более 90 градусов.
*4 Данный индекс точности является стандартом измерения углов многогранника.
*5 Данный индекс точности является стандартом измерения плоского кристалла.
*6 Два выбора диапазона датчика Z0: ±400 мкм и ±1000мкм. При выборе диапазона датчика Z0 ±400 мкм доступна дополнительная передача измерения шероховатости: ±50 мкм/±100 мкм/±400 мкм. При выборе диапазона датчика Z0 ±1000 мкм доступна дополнительная передача измерения шероховатости: ±50 мкм/±100 мкм/±500 мкм/± 1000 мкм.
*7 Данная точность шероховатости является стандартом измерения шероховатости поверхности сравнительных образцов в условиях калибровки сферы.
*8 Данный индекс повторяемости является стандартом тестирования с использованием образца шероховатости прямоугольной волны 0,1–0,2 мкм и стандартного ступенчатого блока.
