Конфокальный микроскоп серии ConoM
Конфокальный микроскоп серии CM представляет собой прибор для измерения микро-наноуровня различных прецизионных устройств и поверхностей материалов. Прибор основан на принципе конфокальной технологии в сочетании с высокоточным модулем сканирования в направлении Z, алгоритмом 3D-моделирования для бесконтактного сканирования поверхности детали и создания 3D-изображения поверхности. С помощью системного программного обеспечения осуществляется обработка и анализ данных 3D-изображения поверхности детали и получение 2D- и 3D-параметров, отражающих качество поверхности детали, при использовании оптического контрольно-измерительного прибора для измерения 3D-формы поверхности детали. Прибор может измерять поверхность различных объектов: от гладких до шероховатых, поверхности от низкого до высокого коэффициента отображения поверхности, шероховатость детали от уровня нанометров до уровня микрометров, а также равномерность, микрогеометричность контуров, кривизну и т.д. В соответствии с четырьмя основными отечественными и зарубежными стандартами ISO/ASME/EUR/GBT предоставляет более 300 видов 2D и 3D параметров в качестве критериев оценки.
Модель прибора CM100 CM200 CM300
Дальность шага X 100мм 200мм 300мм
Y 100мм 200мм 300мм
Z 100мм 100мм 100мм
Габариты 520×380×600мм 720×580×1500мм 1000×900×1500мм
Вес прибора 50 кг 400 кг 500 кг
Принцип измерения Конфокальная оптическая система
Объектив микроскопа 10×, 20×, 50×, 100×
Диапазон обзора 120×120 мкм~1.2×1.2 мм
Измерение высоты Повторяемость (1σ) 12нм
Точность ± (0.2+L/100) мкм
Разрешение экрна 0.5нм
Измерение ширины Повторяемость (1σ) 40нм
Точность ± 2%
Разрешение экрна 1 нм
XY перемещающаяся платформа Загрузка 10 кг
Способ управления Электрический
Диапазон сканирования оси Z0 10 мм
Вышка объектива 5 электрических отверстий
Источник света Белый свет LED
Рабочая среда Источник питания 100-240 ВПТ, 50/60Гц, 2A мощность 300Вт
Рабочая температура Температура 15°С~30°С, градиент температуры < 2°С/60мин.
Относительна влажность 5%~95%ОВ, нет конденсации влаги
Вибрация окружающей среды VC-C или лучше
Прочее Нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа
*1 Используйте объектив с увеличением 50X для измерения образца со стандартным уступом 4,7 мкм в лабораторных условиях.
Характеристики и особенности
Высокая точность и высокая повторяемость
• Измерительная система, основанная на конфокальной оптической системе с вращающимся диском в сочетании с высокостабильной структурной конструкцией и превосходным алгоритмом трехмерной реконструкции, обеспечивает высокую точность измерений прибора.
• Уникальная конструкция изоляции от вибраций может снизить вибрационный шум основания.
• Прибор стабилен и надежен в большинстве сред и имеет хорошую повторяемость измерений.
Комплексное программное обеспечение для измерения и анализа
• Измерение и анализ выполняются на одном и том же интерфейсе без переключения, а данные измерений автоматически подсчитываются, реализуя функцию быстрого измерения партии.
• Благодаря окну визуализации пользователи могут наблюдать за процессом сканирования в режиме реального времени.
• В сочетании с функцией автоматического измерения пользовательского шаблона анализа процесс измерения и анализа в нескольких областях может выполняться автоматически.
• Предоставление пяти функциональных модулей геометрического анализа, анализа шероховатости, структурного анализа, частотного анализа и функционального анализа.
• Анализ в один клик, анализ нескольких файлов, свободно комбинируемые элементы анализа сохраняются в виде шаблона анализов, анализ партии в один клик, предоставление анализа данных и функций статической диаграммы и таблицы.
• Возможность измерения более 300 видов 2D и 3D параметров в соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT и другими стандартами.
Высокоточный рычаг управления
• Рычаг управления, интегрированный с функциями регулировки смещения в трех направлениях X, Y
• и Z, позволяет быстро выполнить предварительные измерения, такие как перемещение предметного столика и фокусировка в направлении Z.
Двойные меры защиты от столкновений
• В дополнение к программному обеспечению ZSTOP, устанавливающему нижний предел смещения в направлении Z для защиты от столкновений, на оси Z предусмотрен механический и электронный датчики. Когда линза касается поверхности образца, прибор автоматически входит в режим состояние аварийной остановки для максимальной защиты прибора и снижения операционного риска.
Конструктор посадочных страниц © 2025