| Модель прибора | MOB300 | |||
| Объектив | 10× | 20× | 50× | |
| Датчик изображения | Промышленная камера высокого разрешения | |||
| Дисплей | 24 дюйма LCD дисплей (XGA:1920×1080) | |||
| Ротор объектива | 3 ручных отверстия 5 электрических отверстий (опционально) | |||
| Диапазон поля обзора | 0.98×0.98мм | 0.49×0.49мм | 0.196×0.196мм | |
| Горизонтальное разрешение | 2мкм | 1мкм | 0.4мкм | |
| Точность измерения | Поле обзора | ±0.3мкм | ±0.2мкм | ±0.1мкм |
| Ось движения Ex/Ey | ± (2.0+0.02 L) мкм | |||
| Повторная точность поля обзора | ±0.1мкм | ±0.1мкм | ±0.05мкм | |
| Измерение высоты | Точность измерения | ±(3.0+L/100)мкм | ||
| Повторная точность | ±1мкм | |||
| Дальность шага | X | 210мм | ||
| Y | 110мм | |||
| Z | 75мм | |||
| Разрешение растрового изображения | 0.1мкм | |||
| Система освещения | Поверхностный свет | Коаксиальное освещение | ||
| Контурный свет | Центробежное проходящее освещение (зеленый цвет) | |||
| Точность точечного лазерного измерения | Коэффициент максимальной глубины отверстия | |||
| 1-May | ||||
| Диапазон высоты | ±3.5мм | |||
| Точность | ±2.0мкм | |||
| Измерительное ПО | VisionX | |||
| Максимальная скорость измерения | XY | 80 мм/с | ||
| Z | 25 мм/с | |||
| Габариты(Д×Ш×В) | 531×455×761мм | |||
| Вес | 74 кг | |||
| Нагрузка | 5 кг | |||
| Рабочее напряжение | 100-240 ВПТ, 50/60Гц, 2A мощность 300Вт | |||
| Рабочая среда | Температура 10°С~35°С, влажность 20~80% (без конденсации) | |||
*1 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, выполнять измерение стандартных пластин с линейным разрешением.
*2 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, выполнять измерение микро-нано стандартных пластин.
*3 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, выполнять измерение микро-нано стандартных пластин.
*4 Механическая точность оси Z, точность измерения высоты с помощью фокусировки объектива зависит от поверхности детали.
*2 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, выполнять измерение микро-нано стандартных пластин.
*3 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20°С±1°С, выполнять измерение микро-нано стандартных пластин.
*4 Механическая точность оси Z, точность измерения высоты с помощью фокусировки объектива зависит от поверхности детали.