IntoM OPX100 Измерительная головка интерферометра белого цвета 5
Функции
• Функция измерения: возможность высокоточного сканирования в направлении Z поверхности образца и получения 3D-изображения.
• Функция анализа: возможность получения таких 2D и 3D данных, как шероховатость качества поверхности, контурные размеры на микро-наноуровне.
• Функция программирования: поддержка предварительно настроенных этапов обработки и анализа данных, завершение всего процесса от измерения до анализа в один клик.
• Анализ партии: шаблоны обработки и анализа данных можно настроить в соответствии с требуемыми параметрами, осуществление анализа партии для одного и того же типа данных параметров в один клик.
Модель прибора IntoM OPX100
Источник света Белый свет LED
Система изображения 1024X1024
Интерференционный объектив 10X,( 20X,50X)
Стандартное поле обзора 0.98X0.98мм 0.98X0.98мм
Вышка объектива Одно отверстие
Габариты 230X200ммX380мм
Настройка уровня ±2° электрический
Ход направления Z 30мм
Диапазон сканирования направления Z 10мм (в зависимости от конкретного объектива)
Разрешение направления Z 0.1нм
Измеримый коэффициент отражения образца 0.05%~100%
Повторяемость RMS шероховатости 0.01нм
Измерение шага Точность 0.5%
Повторяемость 0.1% 1σ
Область применения
• Полупроводники
• Полированные кремниевые пластины
• Утонченные кремниевые пластины
• Кремневые полупроводниковые пластины ИС
• 3C-электроника
• Шероховатость сапфирового стекла
• Дефекты металлического корпуса прессформы
• Перепад высоты стеклянного экрана
Конструктор посадочных страниц © 2025