Производство алмазного материала

Продукция / Производство / Производство алмазного материала

CVD алмазы – материал следующего поколения электроники

Синтез и обработка алмазных материалов от компании FREZART позволяют решать очень разнообразные задачи, поэтому Вы можете выбрать подходящие Вам продукты из готовых решений или оформить специальную заявку под Ваши технологические требования.

Алмазные пластины

CVD алмазы – материал следующего поколения электроники.
Компания FREZART располагает собственными технологиями синтеза и обработки алмазных материалов. Это позволяет решать самые разнообразные задачи, стоящие перед нашими партнерами.
Компания FREZART синтезирует моно и поликристаллические алмазные материалы различного назначения.
Алмазные пластины используются как теплоотводящие подложки, затравочные пластины, как основа для различных датчиков и электронных компонентов. Особый интерес представляет задача применения алмаза как эпитаксиальной подложки для выращивания функциональных полупроводниковых слоев из SiC, GaN, GaP и др.
Благодаря применению метода CVD, мы можем варьировать свойства получаемого материала в широких пределах.
При выборе алмаза Вы можете подобрать необходимую комбинацию свойств материала:
- Кристалличность
- Размеры
- Ориентация поверхности
- Степень и вид легирования
- Качество подготовки поверхности

Кристалличность

Вы можете заказать монокристаллический и поликристаллический алмазный материал

Размеры

Возможно изготовление пластин с линейными размерами от 2х2х0,3 мм до 14х14х3,0 мм для монокристаллического алмаза. Возможно изготовление пластин с иными линейными размерами, а также с вырезанием произвольной формы из плоских пластин по специальному заказу.

Ориентация поверхности

Наибольшая востребованность среди плоских пластин из монокристаллического алмаза – с ориентацией основных поверхностей (100). По специальному заказу возможно изготовление пластин с ориентацией поверхности (110), (113), (111).

Степень и вид легирования

Основная примесь, присутствующая в лабораторно синтезированном алмазе – азот. Мы предлагаем алмазные материалы с концентрацией азота от 50 ppb (концентрация C-центров) и выше. По специальному заказу возможно изготовление пластин из алмаза, легированных бором.

Качество подготовки поверхности

Для монокристаллических пластин доступно два вида полировки: базовая и прецизионная. Для базовой полировки характерна шероховатость до 2 нм (данные АСМ на площади 50х50 мкм). Прецизионная полировка позволяет получать поверхность с шероховатостью до 0,2 нм (данные оптической профилометрии на площади 150х150 мкм).

!!!!!!!!!!!

!!!!!!

!!!!!!!!!!

Алмазные пластины

Компания FREZART синтезирует алмазные пластины методом CVD различного назначения. Мы можем выращивать моно- и поликристаллические алмазные материалы. Вы можете заказать алмазные монокристаллические пластины с различным содержанием примесей азота или бора в соответствии с Вашими техническими требованиями. Алмазные пластины используются как теплоотводящие подложки, затравочные пластины, как элементы для различных датчиков и т.п.
В процессе производства пластин осуществляется контроль качества по дефектам поверхностей и кристаллической структуры, количеству дислокаций, NV-центров, содержанию примесей бора или азота, а также различным ориентациям поверхностей.
Собственная CVD технология роста монокристаллов алмаза позволяет производить пластины от 2,5 х 2,5 х 0,3 мм до 10,0 х 10,0 х 0,5 мм с ориентацией поверхности (100), (110), (113), (111).